碳化硅废水预处理
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今天漓源环保给大家介绍一下碳化硅废水处理的预处理方法,目前,半导体芯片制造业已成为许多国家快速增长的重要产业,预计在未来这一产业还将得到快速增长。随着半导体芯片制造业的蓬勃发展,碳化硅回收行业也迅速形成。碳化硅回收主要针对半导体芯片生产行业的切削液,切削液中含有聚乙二醇、碳化硅、多晶硅、单晶硅、废金属等。
在半导体芯片生产行业中,切削液具有水量大、高C0D、高悬浮物等特点,直接排放将对水环境造成严重危害。因此,碳化硅微粉回收是一个去除多晶硅、聚乙二醇、废金属等杂质,进而回收碳化硅的过程,具有明显的经济和环境效益。
碳化硅回收行业排放的污水通常含有碳化硅微颗粒、多晶硅、聚乙二醇、硅酸钠、金属离子等污染物,与典型的碳化硅生产废水存在明显的区别。目前国内外研究主要集中于对碳化硅生产废水处理,而对碳化硅回收废水处理的研究报道较少。
在没有成熟可靠的碳化硅废水处理技术之前,碳化硅回收废水的排放将受到环保标准的制约。碳化硅回收过程会产生清洗废水,该废水具有PH值波动大,COD含量高(主要为聚乙二醇),悬浮物浓度高,盐分高等特点,废水处理难度较大,已成为困扰碳化硅回收行业发展的瓶颈。
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