制药废水处理的光化学氧化法包括光激发氧化法(如O₃/UV)和光催化氧化法(如TiO₂/UV)。光激发氧化法主要以O₃、H₂O₂、O₂和空气作为氧化剂，在光辐射作用下产生羟基自由基HO·。光催化氧化法则是在反应溶液中加入一定量的半导体催化剂，使其在紫外光(UV)的照射下产生HO·。

两者都是通过HO·的强氧化作用对有机污染物进行处理。其中，氧化效果较好的是紫外光催化氧化法，它的作用原理是让有机化合物中的C-C、C-N键吸收紫外光的能量而断裂，使有机物逐渐降解，然后以CO₂的形式离开体系。

光催化氧化法的优点：

1.反应条件温和、氧化能力强;

2.在制药废水、有机磷化合物、多环芳烃等废水处理中，都能有效地进行光催化反应，使其转化为无机小分子，达到完全无害化的目的;

3.光催化反应对许多无机物，如CN-、Au(CN)^2-、I-、SCN^-、Cr²O₇^2-、Hg(CH₃)₂、Hg²⁺等的去除也有广阔的应用前景;

4.可以破坏氰化物，以及电镀常用的各种有机螯合剂和添加剂，而达无害化;

5.可以除去各种水中的微生物、细菌和霉菌;

6.不仅可以破坏稀溶液(废水)中的有机物，而且可以破坏浓溶液(槽液)中的有机物;

7.是一种非常清洁的干处理法，不会引入任何其他物质到体系中;

8.能彻底破坏有机物而使其转化为CO₂排出，处理的深度比其他方法高。

光催化氧化法的缺点：

1.紫外光的吸收范围较窄，光能利用率较低，其效率还会受催化剂性质、紫外线波长和反应器的限制，短波紫外线(波长小于1700A)比长波的效果好，但短波紫外光较难获得。

2.光催化需要解决透光度的问题，因为某些制药废水(如原料药废水)中的一些悬浮物和较深的色度都不利于光线的透过，会影响光催化效果。

3.目前使用的催化剂多为纳米颗粒(太大时催化效果不好)，回收困难，而且光照产生的电子一空穴对易复合而失活。

与其他高级氧化技术联合使用，可以提高处理效率，增强氧化能力。

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