半导体污水处理
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今天漓源环保给大家介绍半导体污水处理,在电子产品应用领域不断扩大的今天,半导体对我国的发展意义重大。半导体所涉及的行业很广,根据原料和工艺的不同,所产生的废水性质也不同,但都具有排水量大、污染能力强的特点,在严重危害生态环境健康的同时,也制约了其发展。
按半导体污水处理企业的特点,将半导体废水分为三大类,分别来自于生产过程中产生的含氟废水、有机废水和金属离子废水。
一是含氟废水,废水主要来自半导体生产工序的腐蚀段,由于使用了大量的氢氟酸、氟化铵等试剂,污染物浓度较高,如氟、氨等,废水一般呈强酸性;
二是有机废水,其污染物主要是一些常规污染物,生产浓度与生产工艺和运行管理水平密切相关,COD一般在200~3000mg/L;
三是金属离子废水,半导体生产废水中的金属离子种类很多,主要有铜、镍、锡、铅、银等,一般浓度在几十mg/L左右。
含氟废水一般采用化学沉降法,投加钙盐和水中氟离子形成CaF2,再配以混凝剂辅助可除去水中氟离子。出水率要求高时,可与生化法、吸附法等联合使用。
一般采用经济高效的生化处理方法处理有机废水,如分别好氧法或与缺氧厌氧法结合处理,对废水中COD、氨氮、总氮等常规污染物的去除效果十分可观。
对于金属离子废水,则需要根据废水的不同种类进行选择,常用的有化学沉降法,吸附法,离子交换法等。半导体工业生产对水的需求很大,对水的要求也不高,为了节约生产成本,一般建议采用废水回用处理。
针对电子半导体废水处理,开发了相关的MBR膜生物反应器技术,并将活性污泥法和膜分离技术相结合,开发了新型的水处理工艺。其种类繁多,按其分离机理可分为反应膜、离子交换膜、渗透膜等;按其性质可分为天然膜(生物膜)、合成膜(有机膜、无机膜);按其结构类型可分为平坦膜、管状膜、螺旋状膜、中控纤维膜等。维持生化池中污泥高负荷,可以延长污泥的生化期,提高生化处理效果。
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