虽然臭氧安全无毒，但作为一种强氧化物质，浓度超过1.5mg/L对人体是有损害的。臭氧在污水处理领域是主要有两种作用：一是氧化有机物等物质，二是消毒灭菌；在化工废水处理工程中，由于化工废水高浓度污染物质量大，在这里应用臭氧主要发挥前者作用，城市污水因其含微生物、细菌、病毒较多，一般采用臭氧进行灭火。

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化工污水处理中采用的臭氧氧化技术，可用和许多物质进行反应，包括COD、LAS、NH4-N、其他无机物等，多数在氧作用条件下不能去除的物质，臭氧可以很轻松的解决，这取决于其仅次于氟的高的强氧化性能。影响臭氧氧化法处理效果的主要因素除污染物的性质、浓度臭氧投加量、溶液值、温度、反应时间外，投加方式亦很重要，臭氧投加通常在混合反应器中进行。混合反应器可以促进气、水扩散混合、充分接触并迅速反应，同时密闭的反应器可以保证臭氧不会散发，致使污水站人员中毒。设计混合反应器时要考虑臭氧分子在水中的扩散速度和与污染物的反应速度，保证臭氧的高利用率。

臭氧消毒灭菌法相比其他方法具有高效性、高洁净性、方便性以及经济性。其高效体现在灭菌种类多，能克服紫外线死角多的缺点，扩散性高；其高洁净性体现在臭氧可以被自然分解为氧气，不产生二次污染；其方便性体现在操作可自动化；其经济性体现在制药行业和医疗卫生单位的使用上。

污水站采用臭氧工艺的，在运行过程中，当发现臭氧浓度高于1.5mg/L，工作人员须离开现场。操作人员需有安全意识，确保安全使用臭氧。

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