工程概况

某公司是生产多晶体硅半导体材料的专业公司。该公司多晶硅生产装置所产生的酸性废水、硅棒高纯水洗产生的废水、含硅废水、浸蚀酸废液等需要处理才能排放，处理后的废水可以回用于喷淋塔、冷却塔清洗等。

设计进水水量水质

  设计处理规模为：360m³/d。

  根据业主提供污水水质，数据如下（单位为mg/l）：

表1 废水水质水量一览表

污水处理排放标准

  根据业主要求规划，废水经处理后出水的排放标准执行广东省地方标准《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段一级标准和《城市污水的水质标准与再生水利用》（GB/T19923-05）之较严者，具体相关指标如下表2所示（单位为mg/l）：

表2 出水指标排放标准（单位mg/l，除pH外）

  废水处理系统（MCR）出水可以达标或回用作为杂用水，也可经过回用水处理系统进行处理，回用水系统出水水质可优于自来水水质要求，满足超纯水系统进水水质。

工艺设计分析

   废水经过一级物化处理后，达到表三标准排放的废水，主要成份含量：Cu≤5ppm、硅粉等微量固形物、悬浮物；需要进行膜处理才能达到回用水质指标。

污水处理工艺流程图

工艺说明

  ①介质滤器、活性炭滤器和其它制程产生的水进入废水处理系统调节池，与工业废水综合后进行物化沉淀处理。

  ②工业废水经过“调节池+絮凝反应池+斜管沉淀池+MCR膜化学反应器”处理，去除残留的微量固形物、悬浮物。经MCR产水泵到收集水箱。水量：18m³/h（360m³/D）。

  ③产水经过UV防止胞外聚合物对后续处理的污染。经炭滤处理去除小分子有机物后，进入RO系统进行一次预脱盐：

  ④纯水制备产生的RO浓水，水质浊度低，含盐量相对较高。进入浓水收集水箱，与工业废水RO系统产生的浓水进行混合。进行EDI（膜分盐系统）处理后，产生的淡液经过 PH调整后，进行膜回收处理后回用。

  ⑤EDI浓水收集后，作为介质滤器的反洗水；中央空调冷却循环补水，多余水作为杂用水，或溢流到应急水池废水处理。

预计处理效率

表3 废水膜处理和浓水回收减量数据表