臭氧氧化法作为一种新型的高级氧化工艺出现在工业污水处理行业中。它是一种新颖的、高效的、清洁的处理方式。但是臭氧在环境中既有利处，也有弊端。
臭氧存在于地球上，既有其存在好处，又有不好的地方。一是臭氧大多存在于大气的平流层，它对地球上的生物都起着保护作用，在高空中臭氧吸收大量的紫外线，剩余少量的紫外线传到大地上，能够促进生物健康成长。
二是在低层大气下，当吸入臭氧浓度为0.2-0.5ppm时，会出现不良反应，会对眼、喉、肺的刺激，同时，吸入臭氧浓度过高时，对动物的心脏、肝脏，会有影响。所以，臭氧对人体有毒害性，而且是致命的，它的毒害性在于臭氧具有极强的氧化性。甚至在低层大气中，臭氧浓度过高，对植物的叶片损伤严重，同时对工业材料，如纺织品和合成橡胶等也造成严重的损害。
然而，因为臭氧具有极强的氧化能力和杀伤能力，用人工方法制造臭氧可用来净化空气和水，采用臭氧净化的优点为：氧化能力强，反应速度快，可分解有机物质等特点。臭氧氧化法，能将部分有机物分解掉，那对于生化系统来说是可以减轻部分的压力了。都具有很好的去除效果。
同时，臭氧氧化法还具有不产生二次污染，能达到消毒、去味、脱色、氧化水中有机化合物的效果；臭氧的杀菌能力很强，可以去除恶臭。
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