硅晶片蚀刻废水处理系统

硅晶片被广泛应用于集成电路中，在硅晶片蚀刻工艺中产生的废水带来的污染严重，建立一套完善的硅晶片蚀刻废水处理系统不仅可以减少污染，也能节约资源。下面漓源环保为您介绍一种应用在此类工业废水处理中的系统。

这种硅晶片蚀刻废水处理系统中包含与工作槽相连通以接收工作槽中的硅晶片蚀刻废水从而分离出固体Si和残余废液的固液分离装置；用于接收残余废液的酸再生与硅再生系统，其中酸再生与硅再生系统与固液分离装置相连通；与酸再生与硅再生系统相连通以接收酸再生与硅再生系统导出的含固体Si、气体HF及多余H2SiF6溶液的混合物的减压蒸馏装置，减压蒸馏装置还与固液分离装置相连通；及与减压蒸馏装置以及工作槽相连通的酸性吸收塔。

在硅晶片蚀刻废水处理中由固液分离装置分离出固体Si，并得到残余废液；由酸再生与硅再生系统中的电解反应槽使残余废液中的H2SiF6溶液发生电解反应，以得到固体Si、气体HF，将气体HF和一部分气体NO2收集于水中，以形成HF溶液和HNO3溶液组成的混合酸蚀刻溶液。电解得到的固体Si导入到固液分离装置中进行分离并回收再利用。

在硅晶片蚀刻废水处理系统可实现资源的回收利用，也减少了污染，同时具有经济效益和环保效益。如果您对硅晶片蚀刻废水处理还有什么疑问，欢迎咨询漓源环保工程师。

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