多晶硅废水处理工艺

今天漓源环保给大家介绍一下多晶硅废水处理工艺，硅单质作为重要的光电材料、半导体材料，其战略资源的地位日益明显，其全球需求量亦不断增大。在光电、半导体产业中，需要将单质硅体切割成符合要求的硅片，目前多晶硅主要是采用多线切割技术，在切割过程中约50%的硅料混进由聚乙二醇(PEG)切削液和碳化硅粉(SiC)磨料组成的切削液中，使得切削液中微粉的组成、粒径、硬度均不满足标准，造成切削性能下降，不能重复利用，因此在切割过程中需要不断地排出旧切削液，并不断补充新切削液，这样就产生了大量的切割废液。

切削废液为黑色粘稠状悬浮液，主要组分及含量为:聚乙二醇(PEG)，40%~50%;碳化硅(SiC)，23% ~33%;硅(Si)，20% ~24%;铁屑(Fe) ,2.5% ~3.0%。其中，PEG的原料是石油中提炼出来的，再聚合而成，分子结构稳定，不易分解，极易溶于水，生物耗氧量低，在自然界中不易降解，其C0D(化学需氧量)值大大超过废水排放标准，如不经过特殊处理，流入自然环境将会造成巨大污染。SiC和Si都是重要的工业原料。生产SiC原料过程中要消耗巨大能源，现已对此新工业项目进行限制。其中的Si为切磨下来的高纯硅粉，若直接排放会造成环境污染和硅材料的浪费。

目前对于这种多晶硅废水处理，有两种思路:一种是处理达标后排放。常用多晶硅废水处理工艺方法有微生物法、氧化法等,对于这种重要含PEG的废水，微生物法工艺复杂，处理效率低,处理效果差，几乎不可能达标；氧化法处理效果较好，但运行费用较高，工艺控制复杂；其它的常用污水处理方法也很难适用；另一种思路是将废液分级回收处理，因为废水中的PEG、SiC和Si都是重要的工业原料。因此，分级回收和利用硅切割废液对于节约资源、保护环境、提高经济效益具有重要意义，国外已经有相对较为成熟的处理回收技术，国内这方面多晶硅废水处理工艺技术还不成熟，大多处于研究阶段。

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