多晶硅生产废水处理方法

今天漓源环保多晶硅生产废水处理方法，多晶硅材料是主要的光伏材料，市场占有率在90％以上，多用于半导体和太阳能电池。通常，多晶硅材料按纯度可分为冶金级(mg)、太阳能级(sg)和电子级(eg)，其中电子级一般要求含si＞99.9999％以上。多晶硅生产技术在我国发展起步较晚，目前国内建成投产或正在建设的多晶硅企业大都采用了国外先进生产技术，如西门子法、硅烷法、流化床法等。西门子法是通过气相沉积方式生产柱状多晶硅，为提高原料利用率，在原工艺基础上采用闭环式生产工艺即为改良西门子法，该法多晶硅产能占世界产能的80％。国内大部分企业因规模和成本原因并未实现物料的全闭路循环，对氯硅烷低沸物、氯化氢、系统尾气和开停、检修置换尾气只进行洗涤塔淋洗操作后，一并排入“三废”处理系统。

生产尾气(废气)主要含有大量hcl、氯硅烷(sihcl3、sih2cl2、sicl4)、h2、n2，由于氯硅烷极易水解，常采用碱液洗涤，如稀naoh溶液和石灰乳等。氯硅烷和氯化氢发生水解中和，形成氯盐和硅酸盐混合物。氢气、氮气、水蒸气可直接排放到空气中，过程涉及到的化学反应主要有：

sihcl3+h2o→sio2+hcl+h2

hcl+naoh→nacl+h2o

hcl+ca(oh)2→cacl2+h2o

sicl4+naoh→h4sio4+nacl

h4sio4+naoh→na2sio3+h2o

h4sio4+ca(oh)2→casio3+h2o

尾气洗涤废水是多晶硅生产废水主要组成部分，一般占生产废水总量90％以上，且随工艺废气排放量、氯硅烷和氯化氢浓度变化而变化。尾气洗涤废水与其余多晶硅行业厂区内废水(纯水排污水、腐蚀清洗水、硅芯加工润滑水、地面冲洗水、生活污水等)在废水站调节池混合后，形成含盐废水。含盐废水含盐量较高，tds变化范围在30000～60000mg/l，盐分以氯化钙和氯化钠为主；同时带有大量悬浮固体，如微量硅粉、sio2、casio3、na2sio3、si(oh)4和ca(oh)2等，悬浮物含量ss可达到5000mg/l以上；含盐废水中性偏碱性，含有微量有机物和重金属，cod含量基本在150mg/l以下。

目前，针对多晶硅行业厂区内产生的综合性工业含盐废水，多晶硅生产废水处理方法通常采用混合加药、多级沉淀等工艺去除废水中悬浮物，降低废水中有机物和重金属含量，得到氯离子含量较高的废水，氯离子含量在10000～30000mg/l。处理后的含氯废水排至厂内或所在园区污水处理厂，处理达标后排放。

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