工业污水处理过程中废水中过量的磷是造成水体营养化的主要元凶之一。废水中的磷的去除主要采用微生物法，依靠聚磷菌在厌氧条件下释放磷然，在好氧/缺氧条件下超量的吸收污水中的磷，在这种缺氧好氧交替环境下进行磷的超量吸收然后以在以剩余污泥的形式排出。
在一些工业废水中含有高浓度的有机磷，单纯的利用微生物法对磷的去除是还不能到要求的排放标准，此时可考虑采用高级的氧化法对废水中的磷转化为无机磷，然后利用化学沉淀法去除水中的磷。工程上应用较多的高级氧化法除磷的方法有，Fenton试剂氧化和O3催化氧化。
Fenton氧化法利用Fe2+与过氧化氢之间的链反应催化生成羟基自由基，具有较强的氧化能力，羟基自由又具有很高的电负性或亲电子性因为具有加成反应，对于废水中的难降解有机物和有机磷可以很好的氧化。Fenton氧化法在处理含磷废水时存在一定的不足，铁催化剂很容易与氧化产生的磷酸根离子结合生成难容的磷酸铁，失去催化活性。
O3催化氧化法。O3本身具有很强的氧化性，能够氧化废水中的绝大多数有机物和使有机磷矿化，在O3与H2O2配合使用形成臭氧的催化氧化的过程为：2O3+H2O=2(HO-)+3O2，H2O2引发O3产生大量的羟基自由基显著的提高污染物的降解效果，与单独使用O3时相比有机磷的矿化度可提高2-200倍，因而臭氧催化氧化深度除磷是一种较高效的除磷方法。经学者研究表明，废水进行催化氧化深度除磷的适宜的反应条件为：PH8.5，H2O2为20mmol/L,O3质量浓度为12mg/L,反应时间为90min，有机磷的矿化率和COD的去除率为91.6%和56.8%。
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