芯片生产线废水处理

今天漓源环保给大家简述一下芯片生产线废水处理，芯片生产过程工艺复杂，包括硅片清洗、光刻、刻蚀、镀镍等，过程中使用大量的化学试剂如氢氟酸、氨水、氯化镍等，其废水包括含氮废水、含氟废水、酸碱废水、有机废水、废气洗涤废水、镍废水等等，其中，镍废水排放后，会在土壤中沉积，从而被植物吸收后，转移到人的体内，镍含量最高的植物是绿色蔬菜和烟草，可达1.5～3ppm，镍对水稻产生毒性的临界浓度是20ppm。

中国规定车间空气中羰基镍的最高容许浓度为0.001mg/m³，地面水中镍的最高容许浓度为0.5mg/L，镍含量超标大大提高了癌症的发病率。对废水进行分类收集和单独处理，可实现废水的总排放达标。

现有对芯片生产线废水的处理方式主要是采用化学试剂，结合破络合物、氧化、沉淀、过滤、中和等过程，将含镍废液处理成含镍沉积物，将废水进行排放，将沉积物再进行回收使用或进一步处理，由于需要充分地破络合处理，才能将镍离子释放出来，故需用大量的化学试剂，处理的步骤复杂，成本高，影响芯片加工企业的经济效益，不利于芯片行业可持续发展。

提供了芯片生产线的废水处理系统，通过沉淀、调节、蒸发、冷却、净化等工序，采用物化结合的方式，使芯片生产线产生的废水得到了高效的净化，其操作简单，成本低，利于芯片行业可持续发展，适于大面积推广。

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